Sızdırmazlık Yüzeyi Düzlüğü Vakumunuzu Sızıntısız Tutan Şeydir Bu CNC İşlenmiş Yarı İletken Hazne Parçaları, aşındırma (etch), biriktirme (deposition) ve iyon implantasyonu ekipmanları için taşıyıcı d
Bu CNC İşlenmiş Yarı İletken Hazne Parçaları, aşındırma (etch), biriktirme (deposition) ve iyon implantasyonu ekipmanları için taşıyıcı duvarlar ve gaz dağıtım halkalarıdır. Kritik sızdırmazlık yüzeylerini 0,005 mm düzlükte işliyor ve O-ring kanallarında Ra 0,4 µm yüzey kalitesi elde ediyoruz. Bu, haznenizin elastomer sıkışma noktaları olmadan 10⁻⁶ Torr vakum tutabileceği anlamına gelir. BQUQ, Dongguan'da 20 yıldır CNC üretimi yapmaktadır; bu hassasiyeti, ABD veya Alman atölyelerinde tipik olan 6 hafta yerine 10 günlük teslim süresiyle elde edersiniz.
Plazmaya maruz kalan bileşenler için 6061-T6 alüminyumu öneriyoruz. Isıl iletkenliği (167 W/m·K), ısıyı reaksiyon bölgesinden 316L paslanmaz çeliğe göre 10 kat daha hızlı uzaklaştırır. İşleme öncesinde iç gerilmeleri gidermek için her plakayı gerilim giderme (stress-relief) işlemine tabi tutuyoruz. İşleme sonrasında, yüzeyde ark oluşumunu ve partikül dökülmesini önleyen 60 HRC eşdeğeri sert eloksal uyguluyoruz. İyon implantasyonu son istasyonları için, gaz çıkışını 1×10⁻⁹ Torr·L/s·cm² altına düşürmek amacıyla 32 Ra elektropolish uygulanmış 304L veya 316L kullanıyoruz.
Hazne parçalarınız genellikle 15°, 30° veya 45° açılarda gaz giriş portları gerektirir. Bu açılı delikleri tek bir kurulumda işleyen DMG MORI 5 eksenli freze makineleri kullanıyoruz. Bu, yeniden fikstürlemeden kaynaklanan kümülatif hatayı ortadan kaldırır. Porttan porta mesafede tipik konumsal doğruluk ±0,01 mm'dir. Ayrıca, termal döngü altında sızdırmazlık sağlaması kritik olan ısıtıcı kartuş delikleri ve termokupl kuyuları için iç dişleri sınıf 2A uyumuna göre işliyoruz.
Her hammadde partisi, EN 10204 3.1 haddehane sertifikasıyla birlikte gelir. Kesime başlamadan önce kimyasal bileşimi ve sertliği doğrularız. Alüminyum parçalar için T6 temper (190 HB) kullanırız. Paslanmaz çelik için çözeltiye alma (solution annealed) durumunu kullanırız ve gerektirirseniz, hidrojen gevrekliğini gidermek için 400°C'de son bir vakum fırınlama işlemi uygularız. Sertlik okumasını her parçanın muayene kağıdına kaydederiz—"tipik" bir değer değil, gerçek sayıyı alırsınız.
Kritik özelliklerin %100'ünü, sadece bir numuneyi değil, muayene ediyoruz. Bir Zeiss CMM, tüm delikleri, cıvata desenlerini ve sızdırmazlık yüzeylerini 3D modelinize göre kontrol eder. Vakum tutması gereken parçalar için 1×10⁻⁹ mbar·L/s'ye kadar helyum sızıntı testi yapıyoruz. Ayrıca, kayıtlarınız için parçayı kalibre edilmiş bir ölçek yanında fotoğraflıyoruz. Her sevkiyatla birlikte eksiksiz bir muayene raporu alırsınız—ek ücret yoktur.
Standart yüzey kalitesi, sızdırmazlık gerektirmeyen alanlarda Ra 0,8 µm ve sızdırmazlık yüzeylerinde Ra 0,4 µm'dir. Cl₂ veya HBr gibi aşındırıcı kimyasallar için, saldırıya direnç gösteren 25 µm sert eloksal (Tip III) uyguluyoruz. Paslanmaz çelik parçalar için, işleme sertleşmiş tabakayı kaldıran ve pasif bir krom oksit yüzeyi bırakan elektropolish sunuyoruz. Aşındırıcı kumlama kullanmıyoruz—bu, gofret kusurlarına neden olan ortam partiküllerini gömer.
Parçaları ESD güvenli plastikte çift torbalıyor ve köpük astarlı ahşap kasalarda paketliyoruz. Dış kasa "Kırılgan—Vakum Kalitesi" olarak işaretlenir ve bir nem alıcı poşet içerir. Fümigasyon Sertifikası ve Ticari Fatura dahil tüm ihracat evraklarını biz hallederiz. DHL veya FedEx ile kapıdan kapıya nakliye ABD, AB veya Japonya'ya 3-5 gün sürer. Acil onarımlar için, tek bir parçayı 48 saat içinde hava kargosuyla gönderebiliriz.
| Teknik Özellik | Değer / Aralık |
|---|---|
| Malzemeler | Alüminyum 6061-T6, 7075-T6, Paslanmaz Çelik 304L/316L, Titanyum Grade 5 |
| Maks. Parça Boyutu | 1200 mm x 800 mm x 400 mm |
| Et Kalınlığı Aralığı | 2 mm ila 200 mm |
| Sertlik (Alüminyum) | T6: 95 HB; Sert Eloksallı: 60 HRC eşd. |
| Sertlik (Paslanmaz Çelik) | Çözeltiye Alınmış: maks. 200 HB |
| İşleme Toleransı | ±0,005 mm (doğrusal), ±0,01 mm (konumsal) |
| Yüzey Kalitesi Ra | 0,4 µm (sızdırmazlık), 0,8 µm (standart), 0,2 µm (optik) |
| Salgı (eşmerkezlilik) | Delikten deliğe ≤0,005 mm |
| Teslim Süresi | 10 gün standart, 5 gün hızlandırılmış |
| Minimum Sipariş Adedi | Minimum sipariş adedi yok — 1 adet veya 1000 adet |
| Muayene | %100 CMM, isteğe bağlı helyum sızıntı testi |
3D STEP veya IGES dosyanıza ihtiyacımız var. 2D çizim, karmaşık kavisli portlardaki yüzey profili işaretlerini kaçırır. Katı modeli bize gönderin; et kalınlığını, takım erişimini ve iç yarıçapı kontrol edelim. Bir üretim sorunu bulursak, takım masrafını ödedikten sonra değil, 4 saat içinde size bildiririz.
CNC programlarınızı, fikstürlerinizi ve muayene rutinlerinizi sunucumuzda 10 yıl saklıyoruz. Tekrar sipariş verdiğinizde, programı çıkarır, ilk parçayı yeniden üretir ve 7 günde sevk ederiz. Tekrar siparişler için yeni kurulum ücreti ödemezsiniz. Yıllık sözleşmeler için, kritik hammaddenizin emniyet stoğunu tutabiliriz—sadece tahmininizi bize iletin.
Sıfır minimum sipariş adedi. Aynı birim fiyattan bir prototip veya 1000 adet üretim parçası işliyoruz.
Evet, Çin, Tayvan ve Japonya'daki sertifikalı haddehanelerden tedarik sağlıyoruz; ASTM veya DIN spesifikasyonunuzu gönderin, 24 saat içinde bulunabilirliği teyit edelim.
Tek bir parça için de 1000 adetlik bir parti için kullandığımız aynı CMM muayenesini ve malzeme sertifikalarını kullanıyoruz—kestirme yok.
Basit bir alüminyum plakayı 48 saatte işleyip hava kargosuyla gönderebiliriz; karmaşık çok portlu hazneler 5-7 gün sürer.
Hazne parçalarınızı gerçek hassasiyetle üretmeye hazır mısınız? 3D modelinizi ve miktarınızı sc@bquq.com adresine gönderin. Malzeme maliyeti, işleme süresi ve nakliye seçenekleri dahil olmak üzere 12 saat içinde kesin bir teklifle döneceğiz. Acil sorularınız için bize WhatsApp'tan +86 13713157787 numarasından ulaşın. Minimum sipariş adedi yok, tasarım ücreti yok, gizli takım maliyeti yok—sadece CNC işleme toleransları rehberinize uyan ve binlerce proses döngüsü boyunca dayanan CNC İşlenmiş Yarı İletken Hazne Parçaları. Çin'deki hassas üretimimiz 20 yıllık ihracat deneyimiyle desteklenmektedir. Ayrıca, belirli alaşımınız için doğru takımları seçmenize yardımcı oluyoruz—ayrıntılar için CNC kesici takım seçim rehberimize göz atın. Çiziminizi bugün gönderin.
| Parametre | Kapasite |
|---|---|
| Malzemeler | AL6061/7075, SUS303/304/316, 45# çelik, T2 bakır, H59 pirinç, POM, PEEK, naylon |
| Tolerans | ±0.005mm standart, ±0.003mm talep üzerine |
| Makineler | 3/4/5 eksen CNC, tornalama-frezeleme, İsviçre tipi torna |
| Yüzey İşlemi | Eloksal, nikel, çinko, pasivasyon, kumlama, parlatma |
| Boyut Aralığı | Maksimum 400 x 300 x 200 mm |
| Prototip | 72 saat, numunelerde minimum sipariş miktarı yok |
| Denetim | Parti başına tam rapor, talep üzerine CMM verisi |
